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廣州南創(chuàng)廠家供稱重傳感器、壓力傳感器和位移等傳感器
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稱重傳感器電路補償機原理及補償電阻計算

　　一、概述
　　應(yīng)變式稱重傳感器 （以下簡稱為“稱重傳感器”） 的電路補償與調(diào)整，是生產(chǎn)過程中的核心技術(shù)與關(guān)鍵工藝，它對企業(yè)生產(chǎn)出一貫符合稱重傳感器國家標準要求的產(chǎn)品至關(guān)重要。國內(nèi)外處于市場引導者地位的企業(yè)，都對電路補償與調(diào)整技術(shù)和工藝研究有較大投入，研究出多項電路補償與調(diào)整新技術(shù)、新工藝，并成功應(yīng)用到生產(chǎn)工藝流程中，改善了稱重傳感器的溫度性能，提高了準確度和穩(wěn)定性。其中以美國 BLH 公司研究的靈敏度溫度補償技術(shù)與工藝；美國 VISHAY 公司研究的利用半導體應(yīng)變計進行線性補償技術(shù)與工藝（美國專利 No3.034346 號）；德國 PHILIPS 公司研究的利用鎳箔應(yīng)變計進行線性補償同時兼顧靈敏度溫度補償技術(shù)與工藝最具代表性，這些新技術(shù)與新工藝在稱重傳感器制造工藝發(fā)展史上引起過較大變革，推動了稱重傳感器制造工藝技術(shù)的發(fā)展，時至今日依然被世界各國稱重傳感器制造企業(yè)所應(yīng)用。
　　深入了解稱重傳感器電路補償與調(diào)整中的零點溫度補償、零點輸出調(diào)整、線性補償、靈敏度溫度補償機理，熟悉溫度補償電阻的計算公式和影響因素，并結(jié)合本企業(yè)生產(chǎn)工藝流程特點制定科學合理的各項補償精度的內(nèi)控指標，將其應(yīng)用到各項溫度補償工藝中，對保證制程穩(wěn)定，生產(chǎn)出溫度性能符合稱重傳感器國家標準要求的產(chǎn)品具有一定的指導作用。
　　二、零點溫度補償
　　稱重傳感器在無外載荷作用時的輸出稱為零點輸出。零點輸出受環(huán)境溫度影響，隨溫度變化而變化稱為零點溫度漂移。影響零點溫度漂移的因素很多，歸納起來主要有：彈性元件、電阻應(yīng)變計、應(yīng)變膠粘劑的線膨脹系數(shù)不同；彈性元件的縱向和橫向膨脹率不同；電阻應(yīng)變計敏感柵材料的電阻溫度系數(shù)不為零；各電阻應(yīng)變計的引出線及連接導線長度不同，在環(huán)境溫度發(fā)生變化時電阻應(yīng)變計敏感柵伸長或縮短引起電阻變化，直接影響稱重傳感器的輸出，產(chǎn)生較大的零點溫度漂移。就是采用溫度自補償電阻應(yīng)變計，由于其特性的分散以及粘貼、加壓、固化等工藝影響，仍不能全部抵消引起零點溫度漂移的各因素。減小零點溫度漂移最有效的方法，就是對稱重傳感器逐個進行零點溫度補償。
　　引起零點溫度漂移的各種因素的綜合影響，都可以看成是電橋四個橋臂電阻應(yīng)變計的電阻溫度系數(shù)不一致而造成的，由此即可總結(jié)出零點溫度補償原理和補償方法。首先要找出電橋中電阻溫度系數(shù)小的橋臂，并在其上串入一個電阻溫度系數(shù)大的零點溫度補償電阻 Rt，以提高這個橋臂總的電阻溫度系數(shù)。其次要通過計算或試驗得出零點溫度補償電阻 Rt的合適值，串入橋臂后使四個橋臂的電阻溫度系數(shù)一致或接近，就可起到抵消零點溫度漂移，達到了零點溫度補償?shù)哪康?。零點溫度補償電路如圖 1 所示。
零點溫度補償電路pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
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　　在實際應(yīng)用中，利用上述計算公式得到的零點溫度補償電阻值，對于準確度等級不高的稱重傳感器基本能滿足補償要求。對于高準確度稱重傳感器并不一定十分合適，需要經(jīng)過反復升降溫測試調(diào)整，才能獲得理想的零點溫度補償結(jié)果。
　　零點溫度補償所用的電阻絲或金屬箔電阻片，實際上是一種熱敏電阻元件，要求溫度系數(shù)大、熱響應(yīng)快；在稱重傳感器使用溫度范圍內(nèi)具有良好的線性和電阻溫度特性；優(yōu)良的焊接性能。國內(nèi)外多選用電阻溫度系數(shù)較大的銅、鎳和鈷－鎳合金作為零點溫度補償電阻。銅的電阻溫度系數(shù)α＝0.0041/℃，鎳 α＝0.0068/℃，雖然鎳的電阻溫度系數(shù)較大，但其分散度也較大，而且焊接性能比銅差，所以銅電阻在零點溫度補償工藝中的應(yīng) 用 最 為 廣 泛 。 我 國 應(yīng) 用 較 多 的 是 直 徑 為φ0.10mm～φ0.12mm 的漆包銅絲和銅鎳合金零點溫度補償片。pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
　　三、零點輸出調(diào)整
　　稱重傳感器多采用全橋式等臂電橋，其輸出電壓公式為
　　一定的分散度，使粘貼在同一個彈性元件上的電阻應(yīng)變計的電阻值完全相同是不可能的，而且在粘貼、加壓和固化工藝過程中電阻值還會發(fā)生變化。這就造成了組成電橋四個橋臂的電阻應(yīng)變計的電阻值不同，甚至相差較大，導致稱重傳感器在無外載荷作用時產(chǎn)生較大的零點輸出。
這不僅給生產(chǎn)工藝流程中各項工序作業(yè)帶來較大困難，而且在使用過程中也不便于稱重顯示控制儀表調(diào)零，還會增大測量誤差。為使零點輸出接近于零，或控制在一個允許的誤差范圍內(nèi)，必須對稱重傳感器逐個進行零點輸出調(diào)整。pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
　　稱重傳感器零點輸出調(diào)整的方法是在無外載荷作用時，測量出零點輸出值，根據(jù)零點輸出值的極性和大小，來判斷零點輸出調(diào)整電阻 Rz應(yīng)串入哪個橋臂，串入多少電阻才能使電橋處于平衡狀態(tài)。零點輸出調(diào)整電路如圖 2 所示。
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設(shè)電橋各臂電阻 R1=R2=R3=R4=R。pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
 
 　　由于零點輸出調(diào)整電阻 Rz是串聯(lián)在電橋的橋臂上，因此對其精度和穩(wěn)定性要求比較嚴格，主要是電阻率 ρ 要高，電阻溫度系數(shù) α 要小，應(yīng)變靈敏系數(shù) K 要低。一般多采用直徑為 φ0.10mm～φ0.12mm 的漆包錳銅絲 （α＝0.000015/℃） 或漆包康銅絲 （α＝0.000020/℃）。
 　　GB／T 7551-2008 《稱重傳感器》 國家標準對零點輸出的要求是 C 級±1% （額定輸出），D 級±2% （額定輸出）。
 　　四、線性補償pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
 　　引起稱重傳感器輸出與其所測量的載荷之間不完全成線性關(guān)系的因素有：pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
 　　（1） 面積效應(yīng)影響受壓時彈性元件的剛度連續(xù)增大，而受拉時則剛度連續(xù)減小，這一論點是基于彈性模量保持恒定并與同時發(fā)生的密度變化無關(guān)的假設(shè)。然而，實際上是受壓時彈性模量稍稍增大，受拉時彈性模量稍微減小，結(jié)果使得面積效應(yīng)影響更加嚴重。雖然彈性模量的這種變化很小，以致在一般材料性能試驗中難以檢測出來，但從現(xiàn)代稱重傳感器的準確度等級來說，其影響仍然是顯著的。即使不考慮彈性模量隨應(yīng)力的變化，我們至少可以估算出由于面積變化引起的非線性誤差。當圓柱式彈性元件的軸向應(yīng)變每變化 100με 時，面積變化所引起的非線性約為 0.003%。pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
 　?。?） 泊松比效應(yīng)影響這是由于彈性元件受載后，軸向電阻應(yīng)變計電阻值的減小遠遠大于橫向電阻應(yīng)變計電阻值的增加，致使電橋內(nèi)某一橋臂電阻的變化與相鄰橋臂電阻的反向變化不匹配，使得整個稱重傳感器的內(nèi)阻輕微減小，故流過橋臂的電流略增，從而破壞了電橋的“恒流”狀態(tài)，引起電橋非線性誤差。圓柱式彈性元件的軸向應(yīng)變每變化 100με時，電橋的非線性約為 0.007%，此非線性誤差的符號總是與面積效應(yīng)引起的非線性誤差相反，因此泊松比效應(yīng)引起電橋的非線性不僅抵消了而且過度補償了面積效應(yīng)引起的非線性。pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
 　　（3） 電阻應(yīng)變計的非線性即電阻應(yīng)變計靈敏系數(shù) K 隨著應(yīng)變量的增加而輕微變化，通常為應(yīng)變量增加 K 值降低。pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
 　?。?） 彈性元件材料的非線性應(yīng)力應(yīng)變關(guān)系主要是彈性元件材料的誤差，當應(yīng)變程度較高時，其應(yīng)力應(yīng)變關(guān)系并非完全線性，且滯后、蠕變及彈性模量不是理想的常數(shù)，載荷增加時非線性也隨之加。 　　 　?。?） 靈敏度溫度補償電阻 RMt和靈敏度一致性調(diào)整電阻 RS的影響RMt和 RS的接入輕微的改變了稱重傳感器輸出與外載荷的線性關(guān)系。
 　　稱重傳感器非線性誤差原因是上述幾項影響因素的綜合。受載后應(yīng)變區(qū)面積變化的彈性元件固有線性很差，如圓柱式、圓筒式彈性元件。與此相反，彎曲式和剪切式彈性元件，在承受等量拉伸和壓縮應(yīng)力時其容積一般是相等的，即應(yīng)變區(qū)面積不發(fā)生變化，因此固有線性好。對于固有線性差的稱重傳感器必須進行線性補償，有兩類線性補償方法：第一類是在稱重傳感器上采取補償措施；第二類是在稱重儀表上采取補償措施。圓柱、圓筒式稱重傳感器和其它性能指標都好，唯獨線性指標不好的稱重傳感器，單獨使用時可通過稱重儀表進行線性補償，批量生產(chǎn)時必須逐個在稱重傳感器內(nèi)部進行線性補償。
 　　圓柱、圓筒式稱重傳感器在承受壓向載荷時，其輸出都成遞減的拋物線，可通過改變電橋電路的實際供橋電壓，來調(diào)整輸出值進行線性補償，以達到提高線性度的目的。為此在圓柱式彈性元件應(yīng)變區(qū)內(nèi)位于電阻應(yīng)變計的上方，沿軸線方向?qū)ΨQ的粘貼兩片線性補償電阻應(yīng)變計 RL，并將它串聯(lián)在電橋的供橋電路中。當圓柱式彈性元件承受壓向載荷時，非線性補償電阻應(yīng)變計因承受壓向應(yīng)變而使電阻值減小，電橋的供橋電壓Ui恒定不變，根據(jù)電阻分壓原理，線性補償電阻 RL減小，使得電橋的實際供橋電壓 UAC增大。隨著外載荷逐漸增大，非線性補償電阻 RL不斷減小，實際供橋電壓 UAC不斷增加，使電橋輸出呈遞增的拋物線。由前面的分析可知，圓柱式稱重傳感器的非線性誤差是遞減的拋物線，非線性補償后，電橋輸出的遞減和遞增互補，而使實際輸出近似為直線，達到線性補償?shù)哪康?。線性補償電路如圖 3 所示。
線性補償電路.
荷蘭 TNO 機械科學研究院對稱重傳感器進行線性補償時，發(fā)現(xiàn)線性補償電阻 RL與其靈敏系數(shù)KL存在系列關(guān)系pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
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式中 R 為橋臂電阻值。從式 （7） 可以看出，為了得到盡量小的線性補償電阻 RL，就必須選擇盡量大的靈敏系數(shù) KL。大靈敏系數(shù)并能用于稱重傳感器線性補償?shù)闹挥邪雽w和鎳箔電阻應(yīng)變計。P 型半導體電阻應(yīng)變計的靈敏系數(shù)為 67～177，鎳箔電阻應(yīng)變計的靈敏系數(shù)為負數(shù)，其值為 -12～-20，一般多選擇半導體電阻應(yīng)變計。
 　　由于彈性元件機械加工、熱處理和粘貼電阻應(yīng)變計等因素影響，稱重傳感器的固有非線性誤差分散較大，不能通過 3 只 ~5 只稱重傳感器進行線性補償試驗，求得線性補償電阻 RL的平均值用于批量生產(chǎn)的線性補償中，必須逐個稱重傳感器進行線性補償。一般線性補償方法為通過經(jīng)驗公式計算出線性補償電阻值，將其增大 10%～15%就是線性補償半導體應(yīng)變計的過補償電阻值。進行線性補償時，只需在線性過補償電阻上并聯(lián)一個金屬膜線性補償精調(diào)電阻，即可精確調(diào)整稱重傳感器的線性補償特性，達到線性補償?shù)哪康?。補償特性與許多因素有關(guān)，半導體電阻應(yīng)變計線性補償電阻 RL計算公式如下：
K1－調(diào)整余量系數(shù)，考慮到批量生產(chǎn)時，實測線性及各項因素的偏差，可以取 K1≥1.5。pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
 　　在實際應(yīng)用中，應(yīng)特別注意稱重傳感器非線性誤差的定義方法，也就是選擇哪一條擬合直線作標準直線，它直接影響線性補償精度。
國際法制計量組織 （OIML） 第 60 號國際建議 2000 年版之前，主要有兩種方法，其一是端點連線法，即以零點和滿載間所連接的直線作為標準擬合線，此方法直觀、簡便，但定義出的非線性誤差較大。其二是用最小二乘法求出的直線作為標準擬合線，定義出的非線性誤差較小，故比較合理。一個量程為 24.5t 的 C2P1型稱重傳感器，用第一種方法定義的非線性誤差為 0.05%，而用第二種方法定義的非線性誤差只有 0.033%，減少了三分之一。線性補償結(jié)果告訴我們，只有標準模擬合直線選取的科學合理，才能充分體現(xiàn)線性補償特性。pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司
等效執(zhí)行 OIML 第 60 號國際建議 2000 版的GB／T 7551-2008 《稱重傳感器》 國家標準，對標準擬合直線作了明確規(guī)定“誤差包絡(luò)線以一條直線為基準，此直線是以 20℃時載荷試驗中的兩個輸出確定的，一個是最小載荷輸出，另一個是遞增加載時取得的量程的 75%載荷時稱重傳感器的輸出”。此方法接近最小二乘法的標準擬合直線，可以得到較高的線性補償精度。
 　　目前，稱重傳感器線性補償方法主要有三種：
 　?。?） 在惠斯通電橋電路的輸入端，接入粘貼在彈性元件上的半導體過補償應(yīng)變計 RL，并在其上并聯(lián)一個線性補償精調(diào)金屬膜電阻，對 RL進行精密調(diào)整。
 　?。?） 在惠斯通電橋電路的輸入端，接入粘貼在彈性元件上的鎳箔線性補償電阻應(yīng)變計，兼做靈敏度溫度補償電阻。
 　?。?） 利用非線性的盤狀膜片進行線性補償，同時可兼作橫向力補償，見法國專利 No.1204850。
 　　五、靈敏度溫度補償
 　　早在 20 世紀 40 年代中期，美國和前蘇聯(lián)學者就注意到了溫度對測力指示儀器示值的影響，正確的分析了引起機械測力環(huán)溫度誤差的原因，并準確測量出其修正系數(shù)為 0.027%／℃，時至今日還在續(xù)為各國所使用。同樣以金屬材料為彈性元件組成的稱重傳感器，其溫度誤差與之非常相似，只是影響因素更復雜一些，因為除彈性元件外還有電阻應(yīng)變計、補償電阻、測量電路。
 　　 荷蘭 TNO 機械院推導出的稱重傳感器靈敏度溫度誤差表達式為：
　　不論是利用正應(yīng)力還是利用切應(yīng)力的稱重傳感器，其靈敏度溫度誤差是一個系統(tǒng)誤差，起主要影響的因素是彈性模量 E 的溫度系數(shù) βE。
因βE 為負值，所以環(huán)境溫度升高，彈性元件材料的彈性模量 E 降低，稱重傳感器的靈敏度增大，而產(chǎn)生靈敏度溫度誤差。γ 的影響主要取決于電阻應(yīng)變計敏感柵的電阻合金材料，在一定程度上取決于應(yīng)變粘接劑、固化工藝規(guī)范及敏感柵的幾何形狀。如果彈性元件材料，電阻應(yīng)變計敏感柵和基底材料以及制造工藝都一樣，圓環(huán)式結(jié)構(gòu)比圓柱式和剪切梁式結(jié)構(gòu)的靈敏度溫度誤差要小一些，大約小 6％左右。這說明稱重傳感器靈敏度溫度誤差的影響因素，主要是彈性元件材料的彈性模量E，其次是電阻應(yīng)變計靈敏系數(shù)和制造工藝，在相當小的程度上與稱重傳感器彈性元件的結(jié)構(gòu)有關(guān)。對同一種彈性元件結(jié)構(gòu)而言，只要金屬材料、電阻應(yīng)變計和制造工藝不變，靈敏度溫度誤差的分散度比較小，一般小于 10％，這主要是制造和補償工藝引起的。
　　稱重傳感器靈敏度溫度誤差經(jīng)典的補償方法是，在惠斯通電橋電路的輸入端串聯(lián)一個對溫度敏感的補償電阻 RMt，當環(huán)境溫度升高時 RMt增大，盡管供橋電壓 Ui保持不變，但由于電阻分壓作用，使電橋的實際供橋電壓 UAC減小，從而導致靈敏度減小，這就對因溫度升高彈性模量降低靈敏度增大起到補償作用。因為在靈敏度溫度誤差中，βE起主領(lǐng)導作用，所以國外常把這項補償稱為模數(shù)補償。靈敏度溫度補償電路如圖 4 所示。

靈敏度溫度補償電路如圖pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司

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進行靈敏度溫度補償時，首先分別測量出溫度 t1和 t2時稱重傳感器的靈敏度 S1和 S2，然后應(yīng)用下列公式計算補償電阻 RMt

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為了獲得較好的靈敏度溫度補償效果，一般都盡量減小補償電阻的阻值，選擇電阻溫度系數(shù)大的鎳、銅等材料作靈敏度溫度補償電阻 RMt。由于 αR很小，例如康銅箔電阻應(yīng)變計的電阻溫度系數(shù) αR=0.00002／℃，即 αR遠遠小于 αM，可忽略不計，式 （10） 可簡化為：

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　　實踐證明，對于普通準確度級別的稱重傳感器，只要彈性元件結(jié)構(gòu)、尺寸、材料、電阻應(yīng)變計、制造工藝完全一樣，可以采用由抽樣方法經(jīng)過試驗取得靈敏度溫度補償電阻最佳值進行補償，而不必逐一反復測試調(diào)整。對于高準確度稱重傳感器和在工作溫度變化大 （例如－15℃～50℃）的環(huán)境下工作的稱重傳感器，為了得到較高的補償精度，使其在工作溫度范圍內(nèi)具有較小的靈敏度溫度誤差，必須逐個進行測試調(diào)整。此時焊入稱重傳感供橋電路的靈敏度溫度補償電阻 RMt應(yīng)比理論計算值大 10%～15%，為過補償。然后在其上并聯(lián)一個高精度、低溫度系數(shù)的金屬膜電阻 RP，來改善 RMt的非線性，通常稱為靈敏度溫度補償?shù)木€性化調(diào)整電阻。進行補償時，可用精密電阻箱代替線性化調(diào)整電阻便于精密調(diào)整，待求得最佳調(diào)整電阻值時再用金屬膜電阻替換。必須強調(diào)指出，補償測試溫度點至少應(yīng)選取三點，即最高工作溫度、最低工作溫度和常溫，而不易只選取常溫和最高工作溫度兩個點，這是因為靈敏度溫度補償鎳電阻與溫度不成線性關(guān)系。pSJ廣州南創(chuàng)電子科技有限公司

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